Το SiO2 εφαρμόζεται σε ολοκληρωμένα κυκλώματα
Αν και το πυρίτιο είναι υλικό ημιαγωγού, το SiO2 είναι ένα καλό μονωτικό υλικό και έχει εξαιρετικά σταθερές χημικές ιδιότητες, τα εξαιρετικά χαρακτηριστικά του καθιστούν ένα πολύ ευρύ φάσμα εφαρμογών στην κατασκευή IC. Μπορούμε να πούμε ότι όχι μόνο το " πυρίτιο " μας οδηγεί στην εποχή του πυριτίου, αλλά και τις κύριες χρήσεις του SiO2. Το SiO2 στην παραγωγή IC αντικατοπτρίζεται στις ακόλουθες πτυχές:
1. κάλυψη ακαθαρσιών
Το πυριτικό οξύ δρα ως παράγοντας κάλυψης για τη διάχυση ακαθαρσιών. Στην παραγωγή IC, η διάχυση του βορίου, του φωσφόρου και του αρσενικού σε φιλμ σίλικας είναι πολύ πιο αργή από εκείνη του πυριτίου. Ως εκ τούτου, το πιο συχνά
η μέθοδος που χρησιμοποιείται για την κατασκευή διαφόρων περιοχών συσκευών ημιαγωγών (όπως οι περιοχές πηγής και αποστράγγισης των τρανζίστορ) είναι να παράγει αρχικά ένα στρώμα φιλμ οξειδίου SiO2 στην επιφάνεια του δισκίου πυριτίου, μετά από φωτολιθογραφία και ανάπτυξη, στη συνέχεια να χαράξει το φιλμ οξειδίου στην επιφάνεια της ενισχυμένης περιοχής, σχηματίζοντας έτσι παράθυρο ντόπινγκ,
και τελικά επιλεκτικά ακαθαρσίες μέσω του παραθύρου. Το Chi ενίεται στην αντίστοιχη περιοχή.
2. οξείδιο πύλης
Στη διαδικασία κατασκευής των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων MOS / CMOS, το SiO2 χρησιμοποιείται συνήθως ως διηλεκτρικό μονωτικό πύλη των τρανζίστορ MOS, δηλαδή το στρώμα οξειδίου πύλης.
3. διηλεκτρική απομόνωση
Οι μέθοδοι απομόνωσης στην κατασκευή IC περιλαμβάνουν απομόνωση σύνδεσης PN και διηλεκτρική απομόνωση, στην οποία η διηλεκτρική απομόνωση επιλέγεται συνήθως από φιλμ οξειδίου του SiO2 . Για παράδειγμα, το οξυγόνο πεδίου στη διαδικασία CMOS (που χρησιμοποιείται για την απομόνωση τρανζίστορ PMOS και NMOS) είναι ένα φιλμ SiO2 που χρησιμοποιείται για την απομόνωση των ενεργών περιοχών των τρανζίστορ PMOS και NMOS.
4. μονωτικό μέσο
Το διοξείδιο του πυριτίου είναι ένας καλός μονωτής, οπότε για την κατασκευή πολυστρωματικών μεταλλικών καλωδίων, χρησιμοποιείται ως μονωτικό μέσο μεταξύ του άνω και κάτω στρώματος του μετάλλου, μπορεί να αποτρέψει βραχυκύκλωμα μεταξύ των μετάλλων.